Semiconductors

Insbesondere für die Halbleiterindustrie weisen Everflon™-Fluorpolymere mehrere Eigenschaften auf, die ihren Einsatz unerlässlich machen. Sie sind hervorragend mit allen im Prozess verwendeten Chemikalien kompatibel und bieten eine hohe Öl- und Wasserabweisung, wenn sie in Filtern zur Aufrechterhaltung einer extrem reinen Umgebung sowie in Halbleiterverarbeitungsanlagen (Nassverarbeitungsanlagen, Flüssigkeitstransportsysteme und Wafer-Handling-Werkzeuge) eingesetzt werden.

Die Halbleiterindustrie ist auf Präzisionsprozesse angewiesen und benötigt eine ultrareine Umgebung für die Fertigung, da sie nur sehr geringe Toleranz gegenüber Verunreinigungen aufweist. Daher ist der Einsatz von Materialien, die zur Minimierung von Verunreinigungen beitragen, unerlässlich. Aus diesem Grund vertraut die Halbleiterindustrie auf Everflon™-Fluorpolymere für Nassverarbeitungsanlagen, Flüssigkeitstransportsysteme und Wafer-Handling-Werkzeuge. Everflon™-Fluorpolymere werden im Flüssigkeitshandling eingesetzt, wobei hochreine Typen mit sehr geringem Gehalt an auslaugbaren Substanzen verwendet werden, die den aggressiven Chemikalien im Ätzprozess standhalten. Die Reduzierung von Verunreinigungen durch Partikel, metallische Kontaminanten und Ausgasungen aufgrund von Dichtungsverschleiß sind wichtige Ziele der Halbleiterhersteller.

Hochreines Everflon™ PFA ist auch erforderlich, um die in der Fertigung verwendeten Flüssigkeiten ultrarein zu halten. Es ermöglicht größere Wafer und damit immer bessere und kostengünstigere Mikrochips und LEDs dank höherer Produktionsausbeuten in der Halbleiterfertigung.

Everflon™ Fluorpolymerharze und -beschichtungen gewährleisten, dass Kommunikationsgeräte (z. B. Mobilfunktürme, Verkabelung) die für 5G erforderlichen Geschwindigkeiten, Kapazitäten und geringen Latenzzeiten erreichen. Everflon™ Fluorpolymere werden außerdem in Dichtungen von Ätzanlagen und als Schutzfilm auf Fotomasken in der Lithographie eingesetzt.

Keine

Kommunikation